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      性能測試
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      掃描電子顯微鏡的儀器組成
      來(lái)源：中國粉體技術(shù)網(wǎng)    更新時(shí)間：2013-09-11 09:02:56    瀏覽次數：
       
      （中國粉體技術(shù)網(wǎng)/三水）掃描電子顯微鏡分為冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡、熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡、環(huán)境掃描電子顯微鏡等不同類(lèi)型。圖1為JSM-6700F型場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的全景圖。
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      圖1  JSM-6700F場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
      掃描電子顯微鏡由電子光學(xué)系統、信號收集及顯示系統、真空系統和電源系統組成（如圖2）。
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      圖2  掃描電子顯微鏡結構示意圖
              1、電子光學(xué)系統
              由電子槍、電磁透鏡、掃描線(xiàn)圈和樣品室等部件組成（圖3）。電子光學(xué)系統的作用是獲得掃描電子束，作為信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率，掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
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      圖3  掃描電子顯微鏡電子光學(xué)系統組成示意圖
              2、信號收集及顯示系統
              作用是檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號，然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統的調制信號。普遍使用的是電子檢測器，它由閃爍體、光導管和光電倍增器組成（如圖4）。
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      圖4  掃描電子顯微鏡信號收集及顯示系統示意圖
              3、真空系統和電源系統
              真空系統的作用是為保證電子光學(xué)系統正常工作，防止樣品污染，提供高的真空度，一般情況下要求保持10-4～10-5Torr的真空度。電源系統由穩壓、穩流及相應的安全保護電路所組成，其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。
       
       
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