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      北京大學(xué)研制出5納米柵長(cháng)碳納米管
      來(lái)源：中國粉體技術(shù)網(wǎng)    更新時(shí)間：2017-02-09 10:07:18    瀏覽次數：
       
      　　近日，北京大學(xué)彭練矛等人在碳納米管電子學(xué)領(lǐng)域取得世界級突破：首次制備出5納米柵長(cháng)的高性能碳納米晶體管，并證明其性能超越同等尺寸的硅基CMOS（互補金屬-氧化物-半導體）場(chǎng)效應晶體管，將晶體管性能推至理論極限。
      　　據了解，因主流硅基CMOS技術(shù)面臨尺寸縮減的限制，20多年來(lái)，科學(xué)界和產(chǎn)業(yè)界一直在探索各種新材料和新原理的晶體管技術(shù)，但沒(méi)有機構實(shí)現10納米的新型CMOS器件。彭練矛課題組經(jīng)過(guò)10多年的研究，開(kāi)發(fā)出無(wú)摻雜制備方法，研制的10納米碳納米管頂柵CMOS場(chǎng)效應晶體管，其p型和n型器件在更低工作電壓（0.4V）下，性能均超過(guò)了目前最好的硅基CMOS?，F在，他們又克服了尺寸縮小的工藝限制，成功開(kāi)發(fā)出5納米柵長(cháng)碳納米晶體管。
      　　研究表明，與相同柵長(cháng)的硅基CMOS器件相比，碳納米管CMOS器件具有10倍左右的速度和動(dòng)態(tài)功耗綜合優(yōu)勢，以及更好的可縮減性。
      　　他們還研究了器件整體尺寸的縮減及其對器件性能的影響，將碳管器件的接觸電極長(cháng)度縮減到25納米，在保證性能的前提下，實(shí)現了整體尺寸為60納米的碳納米晶體管，并且成功演示了整體長(cháng)度為240納米的碳管CMOS反相器，這是目前實(shí)現的最小納米反相器電路。
      　　資料來(lái)源于科技日報。

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