石英坩堝是由高純石英砂制成,二氧化硅含量超過(guò)99.9%,具有高溫不變形、耐化學(xué)侵蝕性好等特點(diǎn)。
方形的高純石英坩堝用在多晶硅鑄錠環(huán)節,充當多晶硅化料和長(cháng)晶的容器;圓形石英坩堝則用在單晶硅中拉制單晶。
高純石英砂是生產(chǎn)石英坩堝的必要原料。單晶硅拉晶的成功率及晶棒品質(zhì)取決于多種因素,石英坩堝內壁的氣泡含量就是其中重要因素之一。如果石英砂雜質(zhì)含量較多,在高溫熔制過(guò)程中容易產(chǎn)生黑點(diǎn)氣泡。在拉制單晶硅過(guò)程中石英坩堝會(huì )長(cháng)時(shí)間處于高溫環(huán)境下,高溫會(huì )使石英坩堝內壁所合氣泡受熱釋放,從而影響到拉晶的穩定性和成功率。
國際市場(chǎng)的競爭中,標準會(huì )對企業(yè)帶來(lái)巨大的影響?!禛B/T 32652——2016多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料》國家標準的研究與制訂,對于多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料生產(chǎn)有著(zhù)巨大的促進(jìn)作用,也能夠為生產(chǎn)廠(chǎng)家在國際市場(chǎng)上的競爭奠定良好的基礎。
《GB/T 32652——2016 多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料》
1、范圍
該標準適用于太陽(yáng)能級多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料。
2、產(chǎn)品分類(lèi)
多晶硅鑄錠石英坩堝用熔融石英料按產(chǎn)品粒度分為:熔融石英塊料和熔融石英砂料。
3、技術(shù)要求
?。?)外觀(guān)
熔融石英塊料外觀(guān)應為無(wú)色透明或半透明,無(wú)異色點(diǎn)。
?。?)灼燒失量
熔融石英料灼燒失量應小于0.05%。
?。?)粒度
熔融石英塊料應大于或等于830μm,粒徑小于830μm的為熔融石英砂料。
?。?)二氧化硅含量
二氧化硅含量應不低于99. 95%。
?。?)雜質(zhì)元素含量
雜質(zhì)元素總含量應小于80μg/g,各雜質(zhì)元素的含量應用符合下表1的規定。
表1 雜質(zhì)元素含量

編輯:中國粉體技術(shù)網(wǎng)(未經(jīng)授權,禁止轉載)
更多精彩!歡迎掃描下方二維碼關(guān)注中國粉體技術(shù)網(wǎng)官方微信(粉體技術(shù)網(wǎng))
|