美國尤尼明IOTA-STD產(chǎn)品的Al、B、Li、K、Na、Ca、Mg、Ti、Fc、Mn、Cu、Cr、Ni等雜質(zhì)元素總含量通常＜20×10-6，最大值＜22×10
-6。對于這樣高純度的物質(zhì)，采用化學(xué)分析法和X射線(xiàn)熒光光譜法（XRF）是難以滿(mǎn)足其質(zhì)量檢測要求的。
對于金屬元素，尤其是微量金屬元素的檢測，電感耦合等離子體發(fā)射光譜法（ICP-OES）最具優(yōu)勢，具有檢出限良好，檢測精確度高、耗時(shí)短、靈敏度高等特點(diǎn)。目前ICP-OES已經(jīng)成為檢測高純物料微量化學(xué)成分的有效方法。
等離子體電感耦合發(fā)射光譜儀（ICP-OES）
ICP檢測技術(shù)是高純石英技術(shù)的重要支撐和組成部分，對促進(jìn)我國高純石英技術(shù)發(fā)展不僅具有現實(shí)意義，而且具有重要理論意義。
如表1所示，同樣是美國尤尼明高純石英樣品，其雜質(zhì)含量的國內ICP檢測結果（81.89×10
-6）與該公司文獻公布結果（最大31.1×10
-6）存在較大差異，說(shuō)明目前我國在低雜質(zhì)檢測技術(shù)上尚存在一些問(wèn)題，與國際先進(jìn)水平還存在明顯差距。
表1 美國尤尼明高純石英樣品ICP檢測結果對比
高純石英的物理和化學(xué)性質(zhì)穩定，具有雜質(zhì)含量低、溶礦難度大等特點(diǎn)。在高純石英檢測樣品消解和溶礦過(guò)程中，所涉及基本因素有：試樣重量、試劑組合、試劑用量、試劑純度等。
?。?）高純石英ICP檢測技術(shù)包括：試樣制備和儀器檢測兩大部分，其技術(shù)關(guān)鍵是試樣的消解和溶礦制備。
實(shí)驗表明：在試樣制備過(guò)程中，所采用的試樣重量、試劑組合、試劑用量、試劑純度等對ICP檢測結果會(huì )產(chǎn)生重要的影響。
?。?）試樣消解和溶礦制備的優(yōu)化條件是：高純石英用量≥2000mg；試劑純度為高純級（MOS或BV-III），試劑組合為HF+HNO
3；濃HNO
3分3次使用，總用量≥5mL；HF用量為25mL。
?。?）根據高純石英砂加工工藝特點(diǎn)和對純度要求，在整個(gè)試樣制備過(guò)程中，都不能采用鋼篩，以避免產(chǎn)生鐵質(zhì)污染。
另外，在超凈實(shí)驗室條件下進(jìn)行高純石英試樣消解和溶礦制備，將有利于避免空氣雜質(zhì)污染、減少檢測誤差。
發(fā)展我國高純石英技術(shù)是一項系統工程，僅僅從某個(gè)方面努力是難以達到效果的。
原料選擇技術(shù)是高純石英技術(shù)的基礎和前提，在缺少高純石英原料選擇技術(shù)情況下，難以獲得高品質(zhì)原料；
在缺少高品質(zhì)原料情況下，難以加工出高端產(chǎn)品；
在缺少加工裝備技術(shù)情況下，難以實(shí)現高端產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化；
在缺少質(zhì)量檢測技術(shù)情況下，各項工作將都難以開(kāi)展。
目前我國高純石英技術(shù)已經(jīng)取得一定進(jìn)展，主要標志是初步具有4N高純石英中端產(chǎn)品的批量生產(chǎn)能力，并基本掌握了高純石英質(zhì)量檢測技術(shù)。但是，我國目前還沒(méi)有4N8及以上高端產(chǎn)品生產(chǎn)能力，表明與國際先進(jìn)水平的差距依然很大。
要改變我國高純石英技術(shù)的相對落后狀態(tài)，應從國家層面上調動(dòng)和組織科研力量，政、產(chǎn)、學(xué)、研相結合，開(kāi)展高純石英原料選擇技術(shù)、加工工藝技術(shù)和加工裝備技術(shù)攻關(guān)，為我國高純石英高端產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化提供技術(shù)支撐。
