南京郵電大學(xué)和東南大學(xué)武靈芝等以氮化硅絕緣材料為基底,采用微加工技術(shù)設計和制備了自支撐氮化硅懸空膜結構,然后利用聚焦離子束刻蝕懸空膜。通過(guò)優(yōu)化聚焦離子束的系統參數,得到一系列孔徑和錐度可控的納米孔。通過(guò)掃描電鏡和電學(xué)信號顯示,該納米孔具有很好的表面特性和伏安特性。當加入DNA分子時(shí),電流瞬時(shí)下降,得到一系列明顯、穩定的阻塞信號。說(shuō)明該方法制備的納米孔穩定可靠,可以用于不同生物分子的檢測和分析。
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