球形硅微粉，是指顆粒個(gè)體呈球形，主要成分為二氧化硅的無(wú)定形石英粉體材料，其生產(chǎn)原料主要是角形硅微粉，生產(chǎn)方法主要有火焰熔融法、等離子加熱爐法、化學(xué)合成法、水解法等。

　　
　　目前，國內主要利用火焰熔融法來(lái)生產(chǎn)球形硅微粉。該技術(shù)的關(guān)鍵是加熱裝置要求有穩定的溫度場(chǎng)、易于調節溫度范圍以及不要對硅微粉造成二次污染。

 

　　
　　高頻等離子體熔融法生產(chǎn)球形硅微粉的原理與工藝與火焰熔融法類(lèi)似，主要是將高溫熱源變?yōu)榈入x子體發(fā)生器，其溫度范圍適中、控制平穩、產(chǎn)量高，可達到較高球化率，因而是一種較合適的生產(chǎn)方法。
　　
　　水解法是把液體SiCl4以恒定的速度加入到添加了不同分散劑的去離子水中，并同時(shí)用石英棒高速攪拌水解產(chǎn)物，將得到的水解產(chǎn)物經(jīng)陳化、洗滌、過(guò)濾后，在100℃-200℃的恒溫箱中進(jìn)行干燥脫水至恒重后，轉移至高溫燒結爐中，在不同溫度下進(jìn)行高溫燒結脫羥和晶形轉換，經(jīng)粉磨、篩分后即得到所需粒徑的高純球形硅微粉。
　　
　　據了解，聯(lián)瑞新材主要掌握的球形粉體生產(chǎn)技術(shù)包括：
　?。?）燃爆法，制備微米級產(chǎn)品；
　?。?）火焰法，制備亞微米級產(chǎn)品，用該法制備的量最大；
　?。?）液相法，用于生產(chǎn)不允許有大顆粒、有嚴格技術(shù)指標控制的高附加值球硅球鋁液相合成產(chǎn)品，可用于M8及以上覆銅板中。
　　
　　整體來(lái)看，國內大部分企業(yè)生產(chǎn)規模不大、品種不多，在工藝過(guò)程中缺乏系統的控制手段，致使硅微粉產(chǎn)品的純度、粒度以及產(chǎn)品質(zhì)量穩定性與國外產(chǎn)品比較還存在一定的差距。