近日,由中國國檢測試控股集團股份有限公司等單位起草的國家標準《光伏單晶硅生長(cháng)用石英坩堝高純內層砂》公開(kāi)征求意見(jiàn)。
該標準規定了光伏單晶硅生長(cháng)用石英坩堝內層制造用高純石英砂的術(shù)語(yǔ)和定義,分類(lèi)、要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸和貯存。
該標準適用于光伏單晶硅生長(cháng)用石英坩堝制造中內層用高純石英砂,包括天然石英礦或水晶等通過(guò)加工、提純等生產(chǎn)工藝制備的天然石英砂,以及以高純含硅化合物為原料、采用物理、化學(xué)方法制備的合成石英砂。
該標準的具體要求如下:
1、外觀(guān)
標準要求:應無(wú)肉眼可見(jiàn)的雜點(diǎn)和色點(diǎn)。
外觀(guān)是初步判斷石英砂質(zhì)量的最直觀(guān)的檢驗方法,雜點(diǎn)、色點(diǎn)多的石英砂通常情況下雜質(zhì)元素含量較高。
2、燒失量
標準要求:應不大于0.03%。
燒失量是衡量石英砂中吸附水、碳酸鹽、有機物以及其他易揮發(fā)性物質(zhì)含量的重要指標。通過(guò)測定燒失量,可以評估石英砂的純度和質(zhì)量,確保其滿(mǎn)足石英坩堝正常生產(chǎn)應用的需求。
光伏單晶硅生長(cháng)用石英坩堝內層砂燒失量過(guò)高,氣液包裹體含量高,會(huì )導致石英坩堝內壁產(chǎn)生氣泡、雜質(zhì)等缺陷,除了影響坩堝的使用壽命,還會(huì )增加單晶硅生產(chǎn)的材料成本和加工成本,內壁氣泡在高溫下會(huì )導致氣體和雜質(zhì)從坩堝內釋放到熔體中,擾亂單晶硅的生長(cháng)過(guò)程,影響晶體的純度和質(zhì)量,氣泡有可能導致硅棒出現“斷線(xiàn)”問(wèn)題,增加硅棒的缺陷,從而降低單晶硅的成晶率。
3、雜質(zhì)元素含量。
標準要求:天然砂17種雜質(zhì)元素((Al、Fe、Ca、Mg、Ti、Cu、Co、Ni、Mn、Li、Na、K、B、Cr、P、Ba、Zr)總含量應不大于18µg/g,其中,鋰、鈉、鉀總和應不大于1.5µg/g;合成砂17種雜質(zhì)元素總含量應不大于2µg/g,其中,鋰、鈉、鉀總和應不大于0.5µg/g。

光伏單晶硅生長(cháng)用石英坩堝內層砂雜質(zhì)元素含量過(guò)高,會(huì )產(chǎn)生很多危害,具體有:(1)影響石英坩堝的熱學(xué)特性:堿金屬雜質(zhì)如Li、Na、K等會(huì )影響石英坩堝的耐溫性,降低其熔點(diǎn),導致高溫性能變差。
?。?)石英坩堝內壁會(huì )產(chǎn)生氣泡和色斑等缺陷:雜質(zhì)含量高會(huì )導致石英坩堝產(chǎn)生氣泡和色斑等缺陷,降低石英坩堝的透明度。
?。?)影響石英坩堝成型:雜質(zhì)含量過(guò)高,嚴重時(shí)還會(huì )影響石英坩堝的成型過(guò)程。
?。?)產(chǎn)生析晶:如果石英坩堝內表面雜質(zhì)含較高,會(huì )形成異常的破壞性析晶,產(chǎn)生的顆粒進(jìn)入硅液中也會(huì )產(chǎn)生嚴重的斷線(xiàn),如果析晶靠近內表面,局部的析晶殼層過(guò)厚則極易脫落,甚至導致單晶拉制無(wú)法繼續。
?。?)石英坩堝內壁易形成腐蝕坑和漏硅風(fēng)險:如果雜質(zhì)濃度更高,會(huì )形成一個(gè)腐蝕坑,硅液會(huì )順著(zhù)坑和縫隙不斷向外腐蝕,最終產(chǎn)生漏硅的風(fēng)險。
?。?)影響單晶硅棒的性能和質(zhì)量:石英坩堝內表層的雜質(zhì)會(huì )擴散到硅液中,進(jìn)而影響到單晶硅棒的導電性。
?。?)增加生產(chǎn)成本:由于單晶硅片對純度要求高,且單次拉晶成本較高,石英坩堝的質(zhì)量問(wèn)題會(huì )造成單根單晶硅棒報廢,增加生產(chǎn)成本。
因此,控制石英坩堝內層砂的雜質(zhì)元素含量對于保證單晶硅生長(cháng)的質(zhì)量、降低生產(chǎn)成本至關(guān)重要。
4、二氧化硅含量(減量法)
標準要求:二氧化硅含量應不小于99.9980%。
石英砂的二氧化硅含量是一個(gè)綜合性的質(zhì)量指標,它能夠更全面地反映石英砂的質(zhì)量和適用性,在石英行業(yè)中被廣泛用作表征石英砂質(zhì)量的主要參數。
光伏單晶硅生長(cháng)用石英坩堝內層砂二氧化硅含量高,雜質(zhì)元素含量少,是保證石英坩堝質(zhì)量穩定性以及坩堝使用壽命的重要因素,也是確保單晶硅生長(cháng)質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率和降低成本的關(guān)鍵因素。因此,規定光伏單晶硅生長(cháng)用石英坩堝內層砂二氧化硅含量應不小于99.9980%。
5、粒形
標準要求:粒形為近球形或不規則形狀,費雷特最長(cháng)直徑大于50µm的顆粒中,長(cháng)寬比大于2:1的顆粒數應不大于5.0%。
光伏單晶硅生長(cháng)用石英坩堝內層砂粒形的影響主要體現在以下幾個(gè)方面:
?。?)坩堝強度和壽命:石英砂的粒形影響其堆積密度和顆粒間的接觸面積,這直接關(guān)系到石英坩堝的強度和高溫下的穩定性。粒形均勻、大小適中的石英砂能夠提高石英坩堝的機械強度,減少在高溫下的形變和破裂風(fēng)險,從而延長(cháng)坩堝的使用壽命。
?。?)單晶硅生長(cháng)質(zhì)量:石英砂的粒形影響坩堝內壁的光滑度和均勻性,這直接關(guān)系到單晶硅生長(cháng)的質(zhì)量。粒形均勻的石英砂有助于形成光滑的坩堝內壁,減少晶體生長(cháng)過(guò)程中的缺陷,提高單晶硅的品質(zhì)。
?。?)氣泡和氣液包裹體:石英砂中的氣泡和氣液包裹體含量會(huì )影響石英坩堝在高溫下的性能。粒形均勻的石英砂有助于減少氣泡和氣液包裹體的含量,從而減少在單晶硅生長(cháng)過(guò)程中氣泡破裂釋放的微顆粒和氣體,避免對硅熔體造成污染。
?。?)雜質(zhì)元素含量:石英砂的粒形也會(huì )影響其純度,因為不同粒形的石英砂在提純過(guò)程中的效率可能不同。粒形均勻的石英砂更容易進(jìn)行提純,減少雜質(zhì)含量,這對于保證單晶硅的純度至關(guān)重要。
?。?)羥基含量:石英砂中的羥基含量會(huì )影響石英坩堝的耐高溫性能。粒形均勻的石英砂可以通過(guò)優(yōu)化的工藝路線(xiàn)減少羥基含量,提高坩堝的耐高溫性能,減少在高溫下的軟化和變形。
?。?)坩堝的均勻性和一致性:粒形一致的石英砂有助于制造出均勻性和一致性更好的石英坩堝,這對于保證單晶硅生長(cháng)過(guò)程中的溫度和速度控制至關(guān)重要,直接影響到單晶硅的質(zhì)量和產(chǎn)量。

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