“十三五”開(kāi)年之際,科技部的國家重點(diǎn)研發(fā)計劃的多個(gè)重點(diǎn)專(zhuān)項如期而至。在納米專(zhuān)項當中,石墨烯等納米碳材料,碳基納米電子器件,納米能量存儲材料,新型二維原子晶體材料等成為2016年優(yōu)先支持方向。2月初,科技部官網(wǎng)發(fā)布《科技部關(guān)于發(fā)布國家重點(diǎn)研發(fā)計劃納米科技等重點(diǎn)專(zhuān)項2016年度項目申報指南的通知》。根據“自上而下”和“自下而上”相結合的原則,科技部會(huì )同相關(guān)部門(mén),遵循國家重點(diǎn)研發(fā)計劃新的項目形成機制,面向2016年凝練形成了若干重點(diǎn)專(zhuān)項并研究編制了各重點(diǎn)專(zhuān)項實(shí)施方案,已經(jīng)國家科技計劃(專(zhuān)項、基金等)管理戰略咨詢(xún)與綜合評審特邀委員會(huì )(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“特邀咨評委”)和部際聯(lián)席會(huì )議審議通過(guò),并按程序報國務(wù)院批復同意。

1. 新型納米制備與加工技術(shù)
1.1新型碳納米材料的制備與光電功能研究
研究?jì)热?/strong>:手性碳納米管、石墨烯納米帶、高質(zhì)量石墨烯(碳單層或少層)和石墨炔等納米碳材料的宏量可控制備與可控摻雜,碳基納米結構中的物理新效應與光電功能的高效調控。
考核指標:實(shí)現面積大于2平方厘米和密度大于100根/微米的單壁碳納米管平行陣列的可控制備方法;實(shí)現高品質(zhì)單層石墨烯的連續可控制備方法;建立面積大于平方分米高取向石墨炔薄膜(厚度小于10納米)的制備技術(shù);建立碳納米材料在光電子和光電轉換器件中的應用關(guān)鍵技術(shù),實(shí)現在顯示驅動(dòng)和柔性電子器件中的應用示范。
2. 納米表征與標準
2.3納米技術(shù)標準與標準樣品
研究?jì)热?/strong>:面向重要納米產(chǎn)業(yè)應用,開(kāi)展納米性能檢測標準研究,納米標準物質(zhì)與標準樣品研制,包括納米技術(shù)術(shù)語(yǔ)和定義、測量和表征、健康安全和環(huán)境、材料規格等。
考核指標:制定納米結構基本性質(zhì)的系列納米技術(shù)標準,建立納米制造技術(shù)和重大應用中納米性能檢測的系列標準化方法及評價(jià)規范,完成系列國家一級、二級納米標準物質(zhì)/標準樣品,主持制定納米技術(shù)國家標準20—40項,主導制定國際納米技術(shù)標準(ISO,IEC)10—20項。
3.納米信息材料與器件
3.2 碳基納米電子器件與集成
研究?jì)热?/strong>:高性能碳基納米晶體管的制備及大規模集成,碳基和半導體集成電路的混合集成。亞10納米碳基CMOS器件制備技術(shù);芯片用碳管材料的可控和批量制備;新型器件在柔性襯底上的基本科學(xué)與技術(shù)問(wèn)題。
考核指標:實(shí)現集成電路用高純半導體碳納米管材料的批量制備,建立碳基納米電路與硅基CMOS集成電路的混合集成工藝;碳納米管平行陣列中半導體純度大于99%,碳基納米CMOS場(chǎng)效應晶體管柵長(cháng)小于10納米,本征門(mén)延時(shí)小于0.1 ps,碳基納米集成電路規模大于1000門(mén)級,實(shí)現4位碳基CPU的功能演示;實(shí)現柔性碳納米器件在可穿戴裝備上的應用。
4新型二維原子晶體材料和器件原理
研究?jì)热?/strong>:超薄溝道、高載流子遷移率、帶隙可調控的高性能二維原子晶體材料的精準構筑和制備,研究帶隙、摻雜等關(guān)鍵物性調控以及自旋、能谷等信息單元操控中的科學(xué)問(wèn)題,構建新穎器件原型。
考核指標:發(fā)現和合成新的高性能二維原子晶體材料并完成結構和性能表征;制備出宏觀(guān)尺度、結構完整和性能優(yōu)異的二維原子晶體薄膜;演示針對下一代高速、低功耗信息處理和高靈敏探測要求的二維原子晶體邏輯器件、高頻射頻器件、光電子發(fā)射和探測器件等,建立相關(guān)器件原理和物理模型,發(fā)展功能協(xié)同與集成技術(shù),占領(lǐng)二維原子晶體材料和器件研究的國際制高點(diǎn)。
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