哈爾濱工業(yè)大學(xué)卓會(huì )丹等利用離子注入與沉積工藝在氮化硅陶瓷盤(pán)表面制備了厚約500nm的類(lèi)金剛石碳膜(DLC膜)。采用有限元模型模擬計算了DLC膜的熱應力,分析了不同工作溫度下薄膜熱應力的大小和分布;利用高溫球盤(pán)摩擦試驗機考察了陶瓷盤(pán)表面DLC膜的摩擦磨損特性;將表面沉積DLC膜的氮化硅陶瓷球經(jīng)歷不同溫度循環(huán)后分別裝入滿(mǎn)裝角接觸軸承,測試了軸承的滾動(dòng)摩擦力矩。試驗結果表明:在常溫到350℃范圍內,氮化硅陶瓷表面的DLC膜可降低滑動(dòng)摩擦因數和軸承的滾動(dòng)摩擦力矩值,但隨著(zhù)溫度的升高,DLC膜的磨損壽命變短。在經(jīng)歷400℃熱循環(huán)后,陶瓷表面DLC膜在熱應力和機械力的共同作用下起皺、脫落,配副摩擦恢復到未鍍膜水平。
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