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真空感應熔煉去除硅粉中磷及金屬雜質(zhì)的方法及設備 |
來(lái)源: 更新時(shí)間:2013-06-11 11:23:50 瀏覽次數: |
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專(zhuān)利名稱(chēng):真空感應熔煉去除硅粉中磷及金屬雜質(zhì)的方法及設備
專(zhuān)利持有人:大連理工大學(xué)
所屬行業(yè):
內容摘要:發(fā)明人:譚毅,姜大川,董偉,郭校亮,顧正,龐大宇,石爽申請人:大連理工大學(xué)申請號:CN201110033792.9 本發(fā)明屬于冶金法提純多晶硅領(lǐng)域。一種真空感應熔煉去除硅粉中磷及金屬雜質(zhì)的方法,首先,在高真空狀態(tài)下,利用感應加熱方式熔煉硅粉,去除多晶硅... |
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發(fā)明人:譚毅,姜大川,董偉,郭校亮,顧正,龐大宇,石爽
申請人:大連理工大學(xué)
申請號:CN201110033792.9
本發(fā)明屬于冶金法提純多晶硅領(lǐng)域。一種真空感應熔煉去除硅粉中磷及金屬雜質(zhì)的方法,首先,在高真空狀態(tài)下,利用感應加熱方式熔煉硅粉,去除多晶硅中的磷雜質(zhì),然后進(jìn)行拉錠,利用定向凝固技術(shù)將硅粉中的金屬雜質(zhì)去除。本發(fā)明方法簡(jiǎn)單,同時(shí)應用真空感應熔煉和定向凝固技術(shù)來(lái)去除多晶硅中的磷及金屬雜質(zhì),實(shí)現了硅粉的熔煉,除雜效果良好,去除效率高,有效地利用了感應線(xiàn)圈加熱溫度高的特點(diǎn),方法簡(jiǎn)單易行,集成了除磷和除金屬的雙重效果,產(chǎn)量大,適合大規模生產(chǎn)工業(yè)生產(chǎn),提純效果穩定。
http://roanjohns.com/uploadfile/2013/0926/20130926092816519.pdf
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