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金屬硅的酸洗和氧化提純 |
來(lái)源:廈門(mén)大學(xué)學(xué)報 更新時(shí)間:2013-06-14 13:46:16 瀏覽次數: |
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廈門(mén)大學(xué)龐愛(ài)鎖等為了降低金屬硅酸洗的后續工藝難度, 在成熟的常溫酸洗技術(shù)的基礎上加上濕氧氧化新技術(shù)對金屬硅進(jìn)行提純。酸洗主要作用是去除大部分裸露在金屬硅顆粒表面的金屬雜質(zhì);而濕氧氧化后, 使顆粒內部分凝系數( 在硅和二氧化硅系統中的分凝系數) 較小的硼在高溫下擴散進(jìn)入二氧化硅中, 再腐蝕去除氧化層和其中的雜質(zhì)。實(shí)驗表明該方法對硼雜質(zhì)有明顯的提純作用,提純后,硼雜質(zhì)的含量最低為4×10-6。兩種技術(shù)在工藝上兼容,在提純目標上互補,是非常有效的低能耗和低成本的提純方法。 |
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