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      技術(shù)進(jìn)展
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      高精度氮化硅陶瓷球批量加工研磨工藝研究
      來(lái)源：機電工程    更新時(shí)間：2013-06-06 09:23:14    瀏覽次數：
       
              浙江工業(yè)大學(xué)特種裝備制造與先進(jìn)加工技術(shù)教育部/浙江省重點(diǎn)實(shí)驗室和江蘇智邦精工科技有限公司為解決高精度氮化硅陶瓷球批量研磨加工的問(wèn)題，將超精密研磨技術(shù)應用到氮化硅陶瓷球的加工實(shí)驗中。開(kāi)展了研磨過(guò)程的分析，建立了不同研磨階段陶瓷球球度、表面質(zhì)量及材料去除率與所選不同大小粒度磨料之間的關(guān)系，并提出了對比分析的方法，在通過(guò)專(zhuān)業(yè)設備檢測的基礎上對成品球球度、表面粗糙度和振動(dòng)值進(jìn)行了評價(jià)。研究結果表明，氮化硅陶瓷球能夠批量生產(chǎn)且球度達到0.062μm以下，表面粗糙度達到1.48 nm以下，振動(dòng)值達到24 dB以下，實(shí)現了批量生產(chǎn)G3級氮化硅陶瓷球的目的。
       
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